نظرة عامة على المنتج
نظام النقش بالشعاع الأيوني (IBE) الخاص بنا هو عبارة عن-جهاز عالي الدقة لمعالجة المواد مصمم لصناعة-تصنيع النانو الصغير. فهو يستخدم شعاعًا أيونًا مركَّزًا ويمكن التحكم فيه لإجراء النقش المادي على سطح مواد الأغشية الرقيقة-، مما يتيح عمليات النقش الانتقائي أو الرفع- بدقة عالية.
تم تصميم هذا النظام بشكل احترافي لمعالجة نطاق واسع من مواد الأغشية الرقيقة-، بما في ذلك على سبيل المثال لا الحصر Cu، وCr، وPt، وAu، وTi، وAg، وAl₂O₃. وهو يدعم أحجام الرقاقات القياسية التي تبلغ 6 بوصات و8 بوصات، مما يجعله متوافقًا إلى حد كبير مع عمليات تصنيع أشباه الموصلات والأنظمة الميكانيكية -الكهربائية الدقيقة (MEMS) السائدة. ومن خلال الاستفادة من درجة الحرارة المنخفضة-وتقنية النقش ذات الضرر المنخفض-، فإنها توفر حلاً مثاليًا لإعداد أجهزة -ميكرو-نانو عالية الأداء.
المزايا
دقة عالية والتحكم في العمليات
تم دمج النظام مع نظام متقدم للكشف عن نقطة نهاية النقش، والذي يتيح مراقبة الوقت الفعلي -والتحكم الدقيق في عملية النقش بأكملها. يضمن ذلك تكرارًا ودقة ممتازين، مع تجانس نقش أقل من أو يساوي ±5% (سواء داخل الرقاقة أو الرقاقة-إلى-الرقاقة)، مما يضمن نتائج متسقة عالية الجودة-عبر دفعات الإنتاج.
توافق العمليات الفائق
فهو يلبي متطلبات-الزوايا المتعددة ودرجات الحرارة المنخفضة-(0 درجة - 30 درجة) ومتطلبات النقش المنخفضة-من حيث التلف. تعد هذه الإمكانية أمرًا بالغ الأهمية لحماية المواد الحساسة للحرارة والهشة، وتقليل تلف الركيزة، والحفاظ على الخصائص الجوهرية للأغشية الرقيقة، وبالتالي تحسين إنتاجية الجهاز وأدائه بشكل ملحوظ.
تكوين مرن وقابل للتطوير
لتلبية احتياجات الإنتاج والبحث والتطوير المتنوعة، يوفر النظام بنية أدوات عنقودية اختيارية. يسمح هذا التصميم المعياري بدمج غرف العمليات المتعددة، وتسهيل التكامل السلس للعمليات، والتصنيع بكميات كبيرة-، والأتمتة الفعالة لسير العمل، مما يجعله مناسبًا لكل من الأبحاث المعملية والإنتاج الضخم الصناعي.
التطبيقات
يعد نظام النقش بالشعاع الأيوني قطعة مهمة من المعدات في مجال تصنيع النانو الدقيق -المتقدم، مع مجموعة واسعة من التطبيقات:
1. تصنيع جهاز أشباه الموصلات
يتم استخدامه للتصميم الدقيق للأقطاب الكهربائية المعدنية، والوصلات البينية، وهياكل البوابات في الدوائر المتكاملة (ICs)، وكذلك لتشذيب وضبط -المقاومات والمكثفات ذات الأغشية الرقيقة.
2. تصنيع MEMS و NEMS
إنه يلعب دورًا حيويًا في تصنيع أجهزة الاستشعار- الدقيقة، والمشغلات الدقيقة-، وأجهزة MEMS/NEMS الأخرى، مما يتيح إنشاء هياكل مجهرية ذات نسبة عرض إلى ارتفاع-عالية- وهياكل معلقة بدقة عالية.
3. إنتاج الأجهزة الإلكترونية الضوئية
يتم تطبيقه على معالجة مواد الأغشية الرقيقة-في أجهزة الليزر وأجهزة الكشف الضوئي وأدلة الموجات الضوئية، مما يسهل إنتاج المكونات الإلكترونية البصرية عالية الأداء-.
4. التعبئة والتغليف والربط المتقدم
ويتم استخدامه في تقنيات التغليف المتقدمة للحفر الانتقائي لطبقات إعادة التوزيع (RDLs) وإعداد هياكل النتوءات عالية الدقة-.
التعليمات
س: 1. ما هو نظام النقش بالشعاع الأيوني (IBE)؟
ج: نظام النقش بالشعاع الأيوني (IBE) عبارة عن-معدات معالجة نانو دقيقة عالية الدقة تستخدم شعاعًا أيونيًا مركّزًا لإجراء النقش المادي على مواد الأغشية الرقيقة-. يتم استخدامه بشكل أساسي للحفر الانتقائي وتجريد الأغشية الرقيقة المختلفة، ويستخدم على نطاق واسع في أشباه الموصلات، MEMS، الإلكترونيات الضوئية وغيرها من المجالات.
س: 2. ما هي المواد التي يناسبها نظام IBE؟
ج: يعتبر نظام IBE هذا مناسبًا للحفر الانتقائي أو تجريد مواد الأغشية الرقيقة- مثل Cu وCr وPt وAu وTi وAg وAl₂O₃، ويمكنه تلبية احتياجات المعالجة للعديد من الأغشية الرقيقة المعدنية والعازلة الشائعة.
س: 3. ما هي أحجام الرقاقة التي تدعمها آلة الحفر بالشعاع الأيوني؟
ج: إن آلة النقش بالشعاع الأيوني تدعم حجمين قياسيين من الرقاقات: 6 بوصات و8 بوصات، وهو متوافق مع مواصفات معالجة الرقاقات السائدة في الصناعة ويلبي احتياجات البحث والتطوير وإنتاج الدفعات الصغيرة -.
س: 4. ما هي مزايا تكنولوجيا النقش بالشعاع الأيوني؟
ج: يتميز النقش بالشعاع الأيوني بمزايا درجة الحرارة المنخفضة (0 درجة ~ 30 درجة)، والضرر المنخفض، ومعالجة الزوايا المتعددة -، والتوحيد العالي. يمكن أن يقلل من الإجهاد الحراري وتلف المواد، ويضمن استقرار واتساق عملية النقش.
س: 5. ما هو توحيد النقش في نظام IBE؟
نعم، تم دمج آلة النقش بالشعاع الأيوني مع نظام اكتشاف نقطة نهاية النقش المتقدم، والذي يمكنه مراقبة عملية النقش في الوقت الفعلي، وتحقيق التحكم الدقيق في عملية النقش، وتجنب -الحفر الزائد أو الناقص-.
س: 6. هل لدى آلة النقش بالشعاع الأيوني وظيفة الكشف عن نقطة النهاية؟
ج: نعم، تم دمج آلة النقش بالشعاع الأيوني مع نظام اكتشاف نقطة نهاية النقش المتقدم، والذي يمكنه مراقبة عملية النقش في الوقت الفعلي، وتحقيق التحكم الدقيق في عملية النقش، وتجنب -الحفر الزائد أو الناقص-.
س: 7. هل يمكن تكوين نظام IBE بغرف عمليات متعددة؟
ج: نعم، يدعم نظام IBE بنية عنقودية اختيارية، والتي يمكن تجهيزها بغرف عمليات الحفر المتعددة لتلبية احتياجات التبديل المرن للعمليات وتحسين كفاءة الإنتاج.
الوسم : نظام ibe، مصنعي نظام ibe في الصين، الموردين
