آلة النقش

نظام النقش بالشعاع الأيوني (IBE) الخاص بنا هو عبارة عن-جهاز عالي الدقة لمعالجة المواد مصمم لصناعة-تصنيع النانو الصغير. فهو يستخدم شعاعًا أيونًا مركَّزًا ويمكن التحكم فيه لإجراء النقش المادي على سطح مواد الأغشية الرقيقة-، مما يتيح عمليات...

تقدم شركة Nice-Tech أنظمة RIBS مقاس 8 بوصات و12 بوصة، والتي تجمع بين الرش الفيزيائي (من IBS التقليدي) والغازات التفاعلية لزخرفة المواد بدقة.

تقدم شركة Leuven Instruments أنظمة IBS مقاس 8 بوصات (IBS-8) و12 بوصة (IBS-12)، وكلاهما يعتمد على الرش الفيزيائي: يتم تسريع الأيونات الموجبة من مصدر الأيونات، وتحييدها، وقصف سطح العينة لتشكيل أنماط.

يعد MHS 100، الذي طورته شركة Leuven Instruments، نظامًا مخصصًا لحفر الأقنعة المعدنية لصناعة الدوائر المتكاملة مقاس 12-بوصة. وهو يتألف من غرف حفر ICP ووحدة نقل، مع التركيز على فتحة القناع الصلب من معدن TiN في عمليات التوصيل البيني...

تم تطوير MSE 100 بواسطة شركة Nice-Tech، وهو عبارة عن نظام متكامل مقاس 12 بوصة تم تصميمه خصيصًا لنقش مكدس معدني خاص - والغرض الأساسي منه هو دعم سيناريوهات التصنيع لأجهزة الذاكرة الناشئة.

تقدم شركة Nice-Tech نظامين- للحفر المعدني بكميات كبيرة لأحجام مختلفة من الرقاقات، يعتمد كلاهما على تقنية ICP ومصممان خصيصًا لمعالجة المعادن في الواجهة الخلفية لـ IC (BEOL).

تقدم شركة Nice-Tech نظامين مخصصين لحفر السيليكون لأحجام مختلفة من الرقاقات، وكلاهما يعتمد على تقنية ICP ومصممان خصيصًا لإنتاج IC بكميات كبيرة.

إن نظام ICP-DSE مقاس 8-بوصة هو عبارة عن آلة حفر ذات إنتاج ضخم لمعالجة السيليكون بنسبة عرض إلى ارتفاع-عالية. فهو يدمج طاقة ICP ذات التردد المزدوج - (2 ميجا هرتز+13.56 ميجا هرتز)، ووحدة تبديل الغاز السريعة الحاصلة على براءة اختراع،...

يعد نظام النقش ICP مقاس 8-بوصة هذا عبارة عن جهاز من فئة -الإنتاج الضخم- لمصانع IC المتوسطة/الصغيرة والعمليات المتخصصة. يتميز بمصدر ICP عالي الاستقرار-، ونقل فراغي دقيق، وتحكم في الحلقة-المغلقة، كما أنه يتيح-حفرًا فائق الدقة للسيليكون...

أداة النقش CCP مقاس 6-بوصة للإنتاج الصغير-إلى-الأبحاث والتطوير. باستخدام تقنية CCP، تقوم حجرتها الواحدة بتوليد البلازما لحفر المواد؛ تتم إزالة المنتجات الثانوية المتطايرة عن طريق الفراغ. وهو يعمل مع رقائق بحجم أقل من أو يساوي 6-بوصة،...

تدور معدات SE Series Cu-Ti Etching المتكاملة حول النقش الرطب المتخصص للتغليف المتقدم لأشباه الموصلات - وهو مصمم للتعامل مع الرقاقات مقاس 8 إلى 12 بوصة بسلاسة. إنه حل للنقش المعدني قابل للتخصيص بالكامل، لذا يمكنك تعديله ليناسب إعدادك:...

تعد آلات النقش الأيوني التفاعلي (RIE) عبارة عن أدوات حفر جاف عالية الأداء-تعتمد على تقنية تفريغ الترددات اللاسلكية. خدعتهم الأساسية؟ الجمع بين القصف الفيزيائي والتفاعلات الكيميائية لإزالة المواد المستهدفة بدقة - بدون ضجة، فقط الدقة.