معدات رش الطلاء

ج: إن آلة الطلاء بالدوران تناسب بشكل أساسي أسطح الرقاقة المسطحة. يستخدم جهاز الطلاء بالرش مقاوم الضوء بالموجات فوق الصوتية، مما يحقق تغطية فعالة للثقوب العميقة، والجدران الجانبية والخطوات ذات نسبة العرض إلى الارتفاع العالية. إنه مثالي لأجهزة TSV وMEMS ذات التضاريس السطحية المعقدة.

ج: نعم. يدعم النظام غرف COT (الطلاء) وDEV (النامية) الاختيارية. يمكن للعملاء اختيار تكوين جهاز الطلاء بالرش المستقل أو تكوين مطور جهاز الطلاء المدمج وفقًا لتدفق العملية.

ج: نعم. تتوافق آلية الطلاء بالرش مع كل من الرقاقات الدائرية والركائز المربعة مثل القطع الزجاجية، والتي لا يمكن معالجتها بشكل جيد عن طريق الطلاء الدوراني. يرجى تقديم البعد الركيزة لتقييم الوصفة.

ج: ضمن الوصفات المحسنة، تكون تغطية الخطوة أكبر من أو تساوي 30%. تخضع نتائج العالم الحقيقي لعمق الميزة الفعلي ونسبة العرض إلى الارتفاع ونوع مقاوم الضوء. نحن نقدم دعم ضبط العملية.

ج: نعم. يمكن تكوين كمية الغرفة من 2 إلى 4 غرف. تعتبر الإصدارات المدمجة مناسبة لتجارب البحث والتطوير، بينما يخدم الإعداد متعدد الغرف خطوط الإنتاج الضخم.

ج: إنه يتكيف مع معظم مقاومات الضوء القياسية لأشباه الموصلات. يرجى مشاركة نموذج مقاومة الضوء واللزوجة للتحقق من الجدوى قبل تنفيذ المشروع.