طبقة دوارة ومطور مقاس 12 بوصة

ج: بشكل أساسي للرقائق مقاس 12 بوصة (300 مم)، التي تدعم ركائز Si وGlass. وهو يدعم التبديل ثنائي الحجم دون استبدال قطع الغيار، ويمكنه معالجة الرقائق الملتوية/الرفيعة جدًا بصفحة ملتوية أقل من أو تساوي 5 مم.

ج: إنه يدعم عمليات i line وKrF وArF وPI وSOG وSOC، وهو مناسب لعرض خط الطباعة الحجرية أكبر من أو يساوي 90 نانومتر.

ج: نعم. حدد وحدة الواجهة الاختيارية لتحقيق الالتحام المضمن مع آلات التعريض الضوئي للطباعة الحجرية السائدة.

ج: التكوينات المتاحة: 2C2D / 4C / 4D / 4C4D. يمكن للعملاء إضافة وحدات اختيارية بما في ذلك لوحة التسخين عالية الدقة، والمحاذاة البصرية، وWEE، ووحدة الواجهة المضمنة بناءً على متطلبات العملية.

ج: الحد الأقصى للإنتاجية هو 110 واط بالساعة. تختلف الإنتاجية في العالم الحقيقي باختلاف التكوين الفعلي للغرفة ووصفة الإنتاج.

ج: نعم. يمكن للتكوين المعياري المرن أن يلبي متطلبات الإنتاج الضخم بكميات كبيرة، ويتكيف أيضًا مع أعمال البحث والتطوير ذات الدفعات الصغيرة في معاهد البحوث.