نظرة عامة على المنتج
إن SCD6 وSCD6S عبارة عن أنظمة طلاء ومطور أوتوماتيكية صغيرة الحجم مقاس 6 بوصات لأشباه الموصلات المركبة وجهاز الطاقة والأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة والتصنيع الإلكترونيات الضوئية.
SCD6: يستهدف أجهزة الطاقة وإنتاج LED. إنه يعتمد بنية مدمجة، ويدعم ركائز مثل Si، وSapphire، وGaAs، وGaN، وSiC، وInP، وLT، وLN، ويناسب عمليات خط G-line / i-.
SCD6S: موجه إلى MEMS، والدوائر المتكاملة للترددات اللاسلكية، والاتصالات البصرية والأبحاث المعملية. فهو يعمل على توسيع نطاق توافق المواد مع Glass، ويضيف إمكانية معالجة PI، مما يوفر مرونة أعلى لمهام البحث والتطوير المتنوعة ومهام الإنتاج التجريبي-.
يتميز كلا الطرازين بمساحة صغيرة، وتوافق مزدوج الحجم- بدون استبدال الأجزاء، وتغذية دقيقة لمضخة قياس مقاومة الضوء، ووظائف مدمجة شاملة-مثل EBR، وBSR، والتنظيف التلقائي للفوهة-.
المزايا
تمايز النماذج لسيناريوهات مختلفة يعمل SCD6 على تحسين إنتاج الطاقة / LED الشامل -؛ يضيف SCD6S دعم عملية PI والركيزة الزجاجية-لأنظمة MEMS، وRF، والمستخدمين الموجهين للبحث-.
وحدات اختيارية مرنة تدعم التحكم في درجة الحرارة لمقاوم الضوء / المطور، ووحدة تحضير بخار HMDS لتتوافق مع متطلبات العمليات المتنوعة.
إمكانية التتبع الكاملة: تخزين طويل الأمد- لسجلات فشل المعدات وسجلات معلمات العملية، وهو مناسب لتتبع الجودة وتحليل العملية.
وظائف معالجة قياسية شاملة -مدمجة في وظائف EBR وBSR وRRC ووظائف الترطيب والتنظيف التلقائي لفوهة الغراء لضمان جودة الطباعة الحجرية المستقرة.
-تسليم مقاوم الضوء بدقة عالية. مضخة قياس دقيقة لإمداد مقاوم الضوء، ودقة جرعات عالية، وتغذية سائلة مستقرة؛ إعداد وصفة سهلة لحجم الاستغناء.
حدود
|
غرض |
SCD6 |
SCD6S |
|
نموذج |
SCD6 6-بوصة Spin Coater & Developer |
SCD6S 6 بوصة طلاء ومطور |
|
حجم الرقاقة |
6-بوصة (150 مم)، حجم مزدوج متوافق بدون استبدال الأجزاء |
6-بوصة (150 مم)، حجم مزدوج متوافق بدون استبدال الأجزاء |
|
مادة الركيزة |
Si، Sapphire، GaAs، InP، GaN، SiC، LT، LN |
سي، الزجاج، الياقوت |
|
تكوينات الغرفة |
2C2D / 4C / 4D |
3C / 4C / 6D |
|
عملية الطباعة الحجرية المدعومة |
خط G-، خط-i |
خط G-، خط i-، خط PI |
|
أبعاد المعدات (العرض × العمق × الارتفاع) |
1050 × 1900 × 2200 ملم |
1500 × 1450 × 2200 ملم |
|
الوحدات الاختيارية |
مقاوم الضوء / التحكم في درجة الحرارة المطور، وحدة HMDS |
مقاوم الضوء / التحكم في درجة الحرارة المطور، وحدة HMDS |
|
الوظائف الأساسية المضمنة-. |
EBR، BSR، RRC، الترطيب والتنظيف التلقائي للفوهة-. |
EBR، BSR، RRC، الترطيب والتنظيف التلقائي للفوهة-. |
|
وضع التحكم |
التحكم المحلي، والوصفة طويلة الأمد-، وتخزين سجل الأخطاء |
التحكم المحلي، والوصفة طويلة الأمد-، وتخزين سجل الأخطاء |
|
شهادة |
متوافق مع SEMI S2 |
متوافق مع SEMI S2 |
أسئلة وأجوبة
س: ما الفرق بين SCD6 وSCD6S؟
ج: تم تحسين SCD6 لجهاز الطاقة والإنتاج الضخم لمصابيح LED، مما يدعم ركائز أشباه الموصلات المركبة المتنوعة (Sapphire وGaN وSiC وما إلى ذلك) مع عمليات G line / i line. يضيف SCD6S إمكانية معالجة PI وتوافق الركيزة الزجاجية، وهو أكثر ملاءمة لسيناريوهات MEMS وRF IC والاتصالات البصرية والبحث والتطوير في المختبرات. تكوينات الغرفة والأبعاد المادية مختلفة أيضًا.
س: هل يدعم SCD6 / SCD6S تبديل حجم الرقاقة؟
ج: نعم. يدعم كلا الطرازين التوافق ثنائي الحجم دون استبدال قطع الغيار، مما يؤدي إلى تقصير وقت تبديل المنتج.
س: ما هي الوحدات الاختيارية التي يمكن اختيارها؟
ج: وحدة التحكم في درجة الحرارة ومقاومة الضوء، وحدة تحضير HMDS متاحة لكل من SCD6 وSCD6S.
س: هل يمكن لعملية تخزين الجهاز وتاريخ الخطأ؟
ج: نعم. يمكن حفظ معلمات العملية وسجلات أخطاء المعدات على المدى الطويل لتتبع الجودة وتصحيح أخطاء العملية.
س: هل هي مناسبة للإنتاج الضخم أم للاستخدام المعملي فقط؟
ج: كلاهما يدعم الإنتاج الضخم بكميات صغيرة بالإضافة إلى البحث والتطوير في المختبر. SCD6 أكثر توجهاً نحو تصنيع حجم الطاقة / LED؛ يناسب SCD6S مشاريع الإنتاج والبحث التجريبية.
الوسم : آلة الطلاء والمطور مقاس 6 بوصة، الشركات المصنعة والمزودة لآلة الطلاء والمطور مقاس 6 بوصة في الصين
