نظرة عامة على المنتج

إن معدات التنظيف الكيميائي للرقاقات الفردية-هي عبارة عن نظام آلي واحد للتنظيف الرطب للرقاقات-تم تطويره لمتطلبات عملية التنظيف الأمامية-النهائية واللاحقة- لأشباه الموصلات. إنه يقوم بتنظيف الركيزة والطبقة الفوقية، وتجريد مقاوم الضوء، وإزالة الأكسيد وإجراءات التنظيف الهامة الأخرى.

تستخدم الماكينة أذرع رش متعددة- بالإضافة إلى فوهات رش ثابتة لتحقيق مجموعات متنوعة من رش السوائل. يعمل تدفق الهواء المستقر إلى الأسفل على تحسين بيئة الغرفة الثابتة والديناميكية. يحقق هيكل الأكواب المتعددة- فصلًا كيميائيًا فعالاً، كما تعمل آلية فصل الغاز-السائلة على فصل النفايات العضوية السائلة وتفريغ الماء DI-. تدعم وظيفة التنظيف التلقائي-الذكية-المدمجة عملية SPM ذات درجة الحرارة العالية-وتقلل من تكرار الصيانة الوقائية. يدعم الجهاز توافق الرقائق-الأحجام المتعددة ويغطي ركائز مثل Si، وSiC، وLN، وLT، وGlass، وGaAs، وInP، وSapphire. تلبي خيارات الغرف المعيارية من 2-8 غرف المتطلبات التي تتراوح من البحث والتطوير في المختبرات إلى التصنيع الضخم بكميات كبيرة.

المزايا

أداء تنظيف متميز

تحكم صارم بالجسيمات أقل من أو يساوي 10ea@0.1μm، تلوث أيوني معدني منخفض جدًا- يصل إلى 5E9 ذرات/سم². يزيل بشكل فعال الجسيمات والبقايا العضوية والشوائب المعدنية لضمان -عائد العملية اللاحقة.

تحسين التحكم البيئي للغرفة

يمنع التدفق الرأسي المستقر داخل الحجرة -إعادة ربط الجسيمات. يعمل هيكل الأكواب المتعددة- على عزل المواد الكيميائية المختلفة لمنع التلوث المتبادل-. يفصل تصميم فصل الغاز-السائل النفايات العضوية عن الماء DI-للتخلص من النفايات بطريقة أكثر أمانًا.

نظام رش مرن متعدد الأوضاع-.

مجهزة بما يصل إلى ثلاثة أذرع رش وفوهة واحدة ثابتة. يمكن الجمع بين أنماط رش متعددة للتكيف مع وصفات التنظيف المختلفة للركائز وظروف التلوث المختلفة.

وظيفة الصيانة الذاتية-الذكية

تدعم وظيفة التنظيف التلقائي-التنظيف التلقائي-تنظيف SPM بدرجة حرارة عالية. فهو يقلل من عبء عمل التنظيف اليدوي ويطيل متوسط الوقت بين الصيانة الوقائية.

التطبيقات

التعبئة والتغليف المتقدمة
أجهزة ممس
أجهزة أشباه موصلات الطاقة
الدوائر المتكاملة للترددات اللاسلكية
بصريات أشباه الموصلات
مكونات الاتصالات البصرية
تصنيع الأقنعة الضوئية
مختبرات الجامعة ومعهد البحوث

حدود

غرض	مواصفة
نموذج	سلسلة ACL
وظيفة العملية	تنظيف الركيزة والطبقة الفوقية، شريط PR، إزالة الأكسيد
الركائز المدعومة	Si، SiC، LN، LT، الزجاج، GaAs، InP، الياقوت
تكوين الغرفة	2-8 غرف (اختياري)
التحكم في الجسيمات	أقل من أو يساوي 10ea@0.1 ميكرومتر
التلوث بالأيونات المعدنية	5E9 ذرات/سم²
وحدة الرش	ما يصل إلى 3 أذرع رش + 1 فوهة ثابتة
الميزة الرئيسية	تنظيف تلقائي-، يدعم عملية -SPM ذات درجة الحرارة العالية، وفصل الغاز-السائل
وضع المعالجة	معالجة تلقائية للرقاقة المفردة-.
البعد (2-4 غرف)	2560 × 2426 × 2863 ملم (العرض×العمق×الارتفاع)
البعد (8 غرف)	5252 × 2412 × 2959 ملم (العرض×العمق×الارتفاع)

التعليمات

س: ما هي مهام التنظيف التي يمكن أن تقوم بها معدات التنظيف الكيميائي للرقاقة المفردة هذه؟

ج: إنه يتعامل مع تنظيف الطبقة السفلية والفوقية، وتجريد مقاوم الضوء، وإزالة طبقة الأكسيد وغيرها من مسارات العمل النظيفة الرطبة لأشباه الموصلات. يتم استخدامه على نطاق واسع قبل وبعد عمليات الطباعة الحجرية والحفر وترسيب الأفلام الرقيقة. يرجى تقديم مادة الركيزة الخاصة بك ونوع التلوث لضبط الوصفة.

س: ما فائدة آلية فصل الغاز السائل؟

ج: إنه يفصل النفايات الكيميائية العضوية ومجاري تصريف المياه DI. إنه يتجنب الخلط الكيميائي في خط أنابيب النفايات، ويقلل من تآكل خط الأنابيب ويسهل معالجة النفايات السائلة اللاحقة.

س: ماذا تفعل وظيفة التنظيف التلقائي؟

ج: التنظيف التلقائي عبارة عن وظيفة تنظيف ذاتية ذكية للغرفة. وهو يدعم تنظيف SPM بدرجة حرارة عالية للجزء الداخلي من الغرفة، ويقلل من تراكم الجسيمات داخل التجاويف ويقلل من تكرار صيانة PM.

س: هل يمكن للآلة معالجة أحجام مختلفة من الرقائق؟

ج: نعم. تم تصميم المنصة لتتوافق مع الرقاقات متعددة الأحجام. لا يتطلب التبديل بين أحجام الرقاقات المؤهلة تعديل الأجهزة على نطاق واسع.

س: ما هو الفرق بين التنظيف الكيميائي للرقاقة المفردة والتنظيف المجمع؟

ج: يعالج تنظيف الرقاقة المفردة كل رقاقة بشكل مستقل مع التحكم الدقيق في الجرعة الكيميائية ودرجة الحرارة ووقت المعالجة. إنه يحقق أداءً فائقًا للجسيمات والأيونات المعدنية، والذي يناسب أشباه الموصلات المركبة والرقائق الضوئية والأجهزة المتطورة ذات متطلبات النظافة الصارمة. يقوم التنظيف المجمع بمعالجة العديد من الرقائق معًا وهو أكثر فعالية من حيث التكلفة لإنتاج رقائق السيليكون القياسية ذات الحجم الكبير.

س: هل يمكنني اختيار نسخة غرفة صغيرة للاستخدام المختبري؟

ج: نعم. يمكن اختيار كمية الغرفة من 2 إلى 8. تكوينات عدد الغرف المنخفضة مناسبة للبحث والتطوير والإنتاج التجريبي بكميات صغيرة، في حين يتم استهداف إصدارات عدد الغرف الأعلى لخطوط الإنتاج الضخم.

الوسم : معدات التنظيف الكيميائي للرقاقة الواحدة، الشركات المصنعة لمعدات التنظيف الكيميائي للرقاقة الواحدة في الصين، الموردين