نظرة عامة على المنتج
يُعد جهاز تنقية الرقاقات هذا بمثابة العمود الفقري الحقيقي-الذي يتعامل مع الرقاقات مقاس 6 بوصات إلى 12 بوصة، ويتناسب تمامًا مع كل من عمليات تصنيع الرقاقات وسير عمل التغليف المتقدم.
لقد تم تصميمه لمواكبة احتياجات الإنتاج الخاصة بك: 2-4 منافذ تحميل و4-8 غرف تنظيف، حتى تتمكن من زيادة حجمه أو تقليله حسب الحجم. أفضل جزء؟ فهو يقوم بالتنظيف المتسلسل من الأمام والخلف (بفضل وظيفة قلب الرقاقة) بالإضافة إلى أنه يحتوي على وحدات مخصصة لتنظيف الجوانب الخلفية والحواف-لا يتم تفويت أي نقطة.
أسفل الغطاء، يستخدم تقنية التنظيف الأساسية التي تنجز المهمة بشكل صحيح: DIW الساخن وN₂ لتفتيت اثنين من-تنظيف السوائل. تعمل هذه الميزات على التخلص من الجزيئات والملوثات تمامًا، مما يترك الرقائق نظيفة. ومن خلال التكوينات المرنة، فإنه يتكيف بسلاسة مع أي نطاق إنتاج تقوم بتشغيله-دون الحاجة إلى تعديلات معقدة.
المزايا
توافق واسع للرقاقة
يدعم الرقائق مقاس 6 إلى 12 بوصة، والتي تغطي التنسيقات السائدة في التصنيع والتعبئة.
تغطية تنظيف شاملة
التنظيف المتسلسل الأمامي/الخلفي (مع وظيفة الوجه) + تنظيف الجانب الخلفي/الحافة، مما يزيل المناطق الميتة أثناء إزالة التلوث.
تنظيف فعال وشامل
تضمن تقنية Hot DIW + N₂ لتذرية اثنين من السوائل- كفاءة تنظيف عالية للجسيمات والبقايا.
تكوين قابل للتطوير
2–4 منافذ تحميل + 4–8 غرف، تتوافق مع -دفعة صغيرة من البحث والتطوير أو احتياجات الإنتاج الضخم- ذات الحجم الكبير.
التطبيقات
الحقول الأساسية:تصنيع رقائق أشباه الموصلات، التعبئة والتغليف المتقدمة.
العمليات الرئيسية:تنظيف جزيئات/بقايا سطح الرقاقة (بما في ذلك المناطق الأمامية/الخلفية/الحافة) أثناء سير عمل التصنيع أو التغليف.
حدود
|
مواصفة |
تفاصيل |
|
حجم الرقاقة |
6-12 بوصة |
|
منافذ التحميل |
2-4 منافذ تحميل |
|
غرف التنظيف |
4-8 غرف تنظيف |
|
وظائف التنظيف الرئيسية |
- وظيفة قلب الرقاقة (تنظيف أمامي/خلفي متسلسل) |
|
تقنيات التنظيف |
DIW الساخن (الماء منزوع الأيونات)، N2 يذر اثنين من - السائل |
|
مجالات التطبيق |
تصنيع الرقاقات والتغليف المتقدم |
|
الغرض الأساسي |
إزالة سطح الرقاقة/المؤخر/الجسيمات الحافة/البقايا |
التعليمات
ما هي أحجام الرقاقات التي يمكن لجهاز الغسيل هذا تنظيفها؟
وهو يدعم الرقائق مقاس 6-12 بوصة، ويغطي التنسيقات السائدة في تصنيع الرقائق والتعبئة المتقدمة.
هل يمكن تنظيف جانبي الرقاقة؟
نعم-باستخدام وظيفة قلب الرقاقة، يمكنها تنظيف الجوانب الأمامية والخلفية بشكل تسلسلي.
هل ينظف حافة الرقاقة أيضًا؟
بالتأكيد-تم تهيئتها باستخدام أداة تنظيف الحواف المخصصة، بالإضافة إلى تنظيف الجانب الخلفي، لتغطية المنطقة-الكاملة.
ما هي تقنيات التنظيف التي تستخدمها؟
فهو يجمع بين الماء الساخن منزوع الأيونات (DIW الساخن) ورذاذ N₂ اثنين من سائل التنظيف لإزالة الجسيمات/البقايا بكفاءة.
هل يمكن أن تتكيف مع مستويات الإنتاج المختلفة؟
نعم-قابل للتهيئة باستخدام 2–4 منافذ تحميل و4–8 حجرات، وهو يناسب كلاً من -الدفعات الصغيرة من البحث والتطوير والإنتاج- بكميات كبيرة.
ما هي العمليات التي يتم استخدامها؟
يتم تطبيقه في تصنيع الرقاقات والتعبئة المتقدمة، مع التركيز على تنظيف السطح/الجانب الخلفي/الحواف للرقاقات.
الوسم : ماكينة غسل الويفر، مصنعي ماكينة غسل الويفر في الصين، الموردين


