نظرة عامة على المنتج

تم تصميم معدات طلاء الرقاقات هذه خصيصًا لرقائق أشباه الموصلات مقاس 12-بوصة - وهي مصممة خصيصًا لعمليات التوصيل البيني النحاسي المزدوج للنحاس الدمشقي، والتي تغطي عقدًا تقنية من 90 نانومتر إلى 28 نانومتر.
إنه عمود عمل متكامل تمامًا، ومعبأ بجميع المكونات التي تحتاجها لسير عمل سلس: 3 منافذ تحميل، و4 غرف طلاء كهربائي، و4 غرف تنظيف لإزالة شطبة الحواف (EBR)، و8 غرف تلدين، وأنظمة سباكة حمام مستقلة مزدوجة. لا حاجة إلى إضافات إضافية-لإنجاز المهمة.
أسفل الغطاء، يتميز بالتقنيات الأساسية التي تحافظ على جودة طلاء الصخور-الصلبة: الخلط التلقائي للأحماض، ووحدات التفريغ/الغاز، وأنظمة أنود الرفع التلقائية. وإذا كنت تريد تحسين-عمليتك بشكل أكبر؟ اختر وظيفة تحليل حلول الطلاء (EC1)-المثالية للاتصال بالتحسين والحفاظ على اتساق الإنتاجية.

سمات & Configurations

الحد الأقصى 3 منافذ التحميل
الحد الأقصى لـ 24 غرفة طلاء: Cu، Ni، Sn/Ag، Au
الحد الأقصى هو 4 غرف-رطبة مسبقًا، و4 غرف SRD
تصميم خلية مطلية من نوع النافورة، لا يوجد خطر التلوث المتبادل
تصميم وحدة PM، وقت تشغيل عالي للأداة
تكنولوجيا الختم، أداء الختم الجيد
تكنولوجيا فصل الكاثوليت/الحلوليت، واستقرار الحل الجيد

التطبيقات

01/

المجال الأساسي:التصنيع الأمامي لأشباه الموصلات-(تصنيع الرقاقات).

02/

العملية الرئيسية:الطلاء الكهربائي المزدوج للنحاس الدمشقي للرقائق مقاس 12 بوصة (يتم تطبيقه في عقد تقنية 90/65/55/40/28 نانومتر، لتشكيل خطوط نحاسية موصلة في هياكل الرقائق).

حدود

مواصفة	تفاصيل
حجم الرقاقة	12 بوصة
العقد التكنولوجية المستهدفة	90/65/55/40/28 نانومتر
العملية الأساسية	طلاء كهربائي مزدوج للنحاس الدمشقي
تكوين المعدات	-3 منافذ تحميل -4 غرف الطلاء -4 غرف تنظيف (EBR) -8 غرف التلدين -2 أنظمة سباكة حمام منفصلة
الأنظمة الرئيسية	- نظام خلط الأحماض الأوتوماتيكي -وحدة الفراغ/الغاز - نظام أنود الرفع الأوتوماتيكي - التحكم في درجة حرارة محلول الطلاء (مبردان)
ميزة اختيارية	تحليل حل الطلاء EC1
مجال التطبيق	تصنيع الواجهة الأمامية لأشباه الموصلات-.