نظرة عامة على المنتج
يعد منظف الويفر الخلفي جهازًا متخصصًا للمعالجة الرطبة مصممًا لتنظيف الجانب الخلفي لرقائق أشباه الموصلات، ويدعم تنسيقات الويفر مقاس 6 إلى 12 بوصة. تم تصميمه خصيصًا لسير عمل التعبئة والتغليف المتقدم، ويتميز بتكوين مكون من 4 غرف، وتوافق الناقل 2 SMIF POD/FOUP، والتحكم في العملية الأساسية (التسخين، ومعدل التدفق، والضغط). مع إنتاجية تتراوح من 55 إلى 60 رقاقة في الساعة، فإنها تدمج وظائف السلامة (الحماية من الحرارة الزائدة، واكتشاف التسرب) واتصال SECS/GEM من أجل التكامل الذكي.
المزايا
توافق واسع للرقاقة:
يدعم الرقائق مقاس 6 إلى 12 بوصة، مما يتكيف مع احتياجات التغليف المتقدمة المتنوعة.
01
أداء عملية مستقر:
يتحكم في صفحة التواء الرقاقة ضمن ±10 مم، مما يضمن اتساق الرقاقات الرقيقة.
02
كفاءة الإنتاجية:
تنتج 55-60 رقاقة/ساعة، مما يوازن بين السرعة وجودة التنظيف.
03
مرنة وآمنة:
حماية اختيارية من كيمياء DICO2/المؤخر؛ يشمل مراقبة الصرف الصحي والسلامة.
04
تكامل المصنع:
دعم SECS/GEM الكامل للاتصال السلس بأنظمة MES.
05
التطبيقات
المجال المستهدف:التعبئة والتغليف المتقدمة لأشباه الموصلات.
العملية الأساسية:التنظيف الخلفي للرقائق بعد التخفيف (إزالة المخلفات من عمليات التخفيف لضمان موثوقية التغليف).
حدود
|
مواصفة |
تفاصيل |
|
حجم الرقاقة |
6-12 بوصة |
|
رقاقة Warpage التسامح |
أقل من أو يساوي ±10 ملم |
|
الإنتاجية (وف) |
55-60 رقاقة/ساعة |
|
تشامبرز |
4 غرف |
|
توافق الناقل |
2 سميف بود/فوب |
|
الكيمياء المدعومة |
DICO2 (حماية المؤخر اختيارية) |
|
ميزات التحكم في العمليات |
التحكم في التدفئة، التحكم في معدل التدفق، التحكم في الضغط |
|
ميزات السلامة |
الحماية من ارتفاع درجة حرارة الحمام، كشف التسرب، مصنف |
|
بروتوكول الاتصالات |
SECS/جوهرة |
|
مجال التطبيق المستهدف |
التعبئة والتغليف المتقدمة |
التعليمات
ما هي أحجام الرقاقات التي يدعمها منظف الظهر هذا؟
وهو متوافق مع الرقائق مقاس 6-12 بوصة، ويغطي التنسيقات الشائعة في العبوات المتقدمة.
ما هو الحد الأقصى لصفحة الويفر التي يمكنها التعامل معها؟
إنها تدعم الرقائق التي تحتوي على صفحة ملتوية أقل من أو تساوي ±10 مم، وهي مناسبة للرقائق الرقيقة في عمليات التعبئة والتغليف.
ما مدى سرعة إنتاجية هذا الجهاز؟
يمكنها معالجة 55-60 رقاقة في الساعة، مما يحقق التوازن بين الكفاءة وجودة التنظيف.
ما هي شركات النقل التي تعمل معها؟
وهو يدعم 2 حاملات SMIF POD/FOUP، بما يتماشى مع الأنظمة اللوجستية القياسية للقوات المسلحة البوروندية.
ما هي الكيمياء التي تستخدمها، وهل تتوفر الحماية الخلفية؟
يستخدم DICO2 (يتم توفير تكوين حماية خلفي اختياري).
هل يمكن الاتصال بنظام MES الخاص بمصنعنا؟
نعم-يتيح الدعم الكامل لبروتوكول الاتصال SECS/GEM التكامل السلس مع MES.
ما هي ميزات السلامة لديها؟
ويشمل الحماية من ارتفاع درجة حرارة الحمام، والكشف عن التسرب، وتصريف النفايات المصنفة.
الوسم : منظف بسكويت الويفر الخلفي، مصنعي وموردي منظف بسكويت الويفر الخلفي في الصين
