معدات النقش بالشعاع الأيوني

تعد آلات النقش بالشعاع الأيوني (IBE) عبارة عن-أدوات معالجة عالية الدقة تعتمد على تقنية النقش بالشعاع الأيوني الفعلي. الفكرة الأساسية؟ تفجير أسطح المواد بحزم أيونية عالية الطاقة- لإزالة الذرات-مثالية للمعالجة غير المدمرة للمواد القاسية-إلى-الحفر والهشة (مثل المعادن والسيراميك) ومواد الرقائق الكمومية الحساسة.

وهي تأتي مزودة بطاولة عمل ذات وضع- مزدوج: قطعة واحدة-واحدة مع إمكانية تعديل الزاوية من -90 درجة إلى 90 درجة، بالإضافة إلى نوع دوار دائري متعدد-قطع. سواء كنت تجري -أبحاثًا معملية صغيرة أو إنتاجًا ضخمًا، فهي مرنة لتناسب احتياجاتك. يوجد أيضًا نظام تبريد مائي/تبريد خلفي بالهيليوم للحفاظ على الرقائق من التلف الحراري، لذا تظل الأجهزة الدقيقة مثل الرقائق الكمومية مستقرة بعد المعالجة.

علاوة على ذلك، يتم ضبط طاقة الشعاع الأيوني بسلاسة من 0 إلى 1000 فولت. قم بإقران ذلك بتوحيد النقش الذي يقل عن أو يساوي ±3% (للركائز مقاس 8-بوصة)، ويمكنك التحكم الدقيق في عمق النقش ودقة النمط. إنها العمود الفقري للعمليات الأساسية للبحث والتطوير في أشباه الموصلات المتقدمة (كربيد السيليكون والمواد ثنائية الأبعاد)، وتصنيع الأجهزة الإلكترونية الضوئية عالية الدقة، وتطوير الرقائق الكمومية.

1. ضرر منخفض- ودقة عالية-: النقش الفيزيائي، التحكم الذري (الرقائق الكمومية)
2. صديقة للمواد الهشة-: معادن فائقة التوصيل، والسيراميك، وSiC (بدون تعديلات)
3. طاولة عمل مرنة: الوضع المزدوج - (-90 درجة ~ 90 درجة / دوران) - البحث والتطوير / الإنتاج الضخم
4. الإدارة الحرارية الصلبة: تبريد الماء/الهيليوم (لا يوجد ضرر حراري)
5. قابل للضبط ومتسق: 0-1000 فولت + أقل من أو يساوي ±3% من التوحيد (دفعات ثابتة)

الوسم : معدات الحفر بالشعاع الأيوني، الشركات المصنعة لمعدات الحفر بالشعاع الأيوني في الصين، الموردين