نظرة عامة على المنتج

إن مجهر فحص الرقاقة الآلي عبارة عن أجهزة فحص آلية على مستوى الرقاقة-لصناعات مثل أشباه الموصلات، وشاشات العرض، والخلايا الكهروضوئية. أنها توفر حلولاً فعالة ودقيقة لفحص العينات وتحليلها ومعالجتها.

تحديد موضع المنتج

يستخدم مجهر فحص الرقاقات الآلي تكنولوجيا بصريات Zeiss، ويدمج التصميم المعياري والخوارزميات الذكية، وتغطي هذه المجاهر الاحتياجات الكاملة للرقائق، بدءًا من التحميل والتفريغ الآلي، والفحص متعدد -الأبعاد، ووضع علامات على العيوب لإنشاء التقارير، وتحقيق التوازن بين سهولة الاستخدام والاحترافية.

المزايا

① أوضاع العمل-عالية الكفاءة

② حل فحص الرقاقة الجاهزة

③ القياس في الوقت الفعلي-، مما يوفر بيانات دقيقة

④ خيارات عدسة موضوعية وفيرة

⑤ التركيز التلقائي الذكي والسريع

⑥ وضع علامات عيب بالليزر ذكية وفعالة

⑦ معاينة خريطة التنقل ومقارنة الرسم وتحديد المواقع بدقة

⑧ التوافق مع الجهات الخارجية-، مما يتيح المعالجة التلقائية للرقاقات

التطبيقات

تصنيع أشباه الموصلات
عرض اللوحة
الصناعة الكهروضوئية

حدود

المرحلة XY	وحدة مسرح يدوية / آلية برقاقة XY مقاس 8 بوصة دقة XY: أقل من أو تساوي 2 ميكرومتر نطاق السفر: 205 مم × 205 مم مقبض القابض للحركة السريعة
مرحلة المحور Z-	عجلة عقارب المحور Z- دقة الضبط الدقيق للمحور Z--: أقل من أو تساوي 1 ميكرومتر نطاق السفر: أكبر من أو يساوي 36 ملم
عدسة موضوعية	اعتماد قطعة الأنف الأصلية للمجهر اليدوي/الكهربائي من زايس أهداف Zeiss EC EpiPlan، وأهداف EC Epiplan Apochromat، وأهداف EC Epiplan Neofluar
مصدر الضوء	5W LED مصدر الضوء المنقولة مصدر ضوء عاكس LED 10 واط
مرحلة تحميل الرقاقة	متوافق مع مراحل الويفر- المتعددة الأحجام (متوافق مع الرقائق مقاس 4 بوصة، و6 بوصة، و8 بوصة) يسمح بنقل الحركة، ومنضدة عمل الرقاقة القابلة للفصل، ويتم دعم وظيفة الكشف بلوحة LCD
مراقبة التصوير	متوافق مع كاميرات سلسلة Zeiss Axiocam أو كاميرات الجزء الثالث العدسات لزايس (اختياري) يوفر أوضاع مراقبة المجال الساطع والمجال المظلم، مع تباين التداخل التفاضلي الاختياري، والتألق، والأوضاع المستقطبة
مقبض التحكم عن بعد	زر تبديل العدسة الموضوعية زر التحكم في شدة الإضاءة، ويمكنه ضبط شدة الضوء الحالية تلقائيًا وفقًا لوضع العدسة/المراقبة الموضوعية الإضاءة المنعكسة وزر تبديل الإضاءة المنقولة مقبض تركيز محور Telex Z-، والاستشعار عن بعد لمحور الحركة XY وضع علامات على الخلل وزر التركيز التلقائي
وحدة التركيز التلقائي	متوافق مع وحدة التركيز البؤري التلقائي النشطة، مما يحقق وظيفة التركيز البؤري في الوقت الحقيقي-للكائن الذي تمت ملاحظته تحت هدف 50×
وحدة وضع علامات على العيوب	متوافق مع وحدة وضع علامات العيوب لوضع علامة زمنية-حقيقية على الأجزاء المعيبة في العينة
وحدة التعامل مع الرقاقة	متوافق مع وحدات معالجة الرقائق لتحقيق التحميل والتفريغ التلقائي للرقائق

التعليمات

ما هو حجم الرقائق التي يمكن فحصها؟ هل يمكن فحص الأحجام الأخرى؟

وهو متوافق مع الرقائق مقاس 4 بوصة و6 بوصة و8 بوصة. وبعد إزالة المنصة، يمكن أيضًا استخدامها لفحص لوحات LCD.

ما هي التكنولوجيا البصرية التي تستخدمها؟

وهي تواصل الجودة البصرية القديمة-لشركة Zeiss وتدمج مزايا بصريات ICCS. جميع الأهداف هي عدسات Zeiss الأصلية، بما في ذلك الأنواع اللالونية، وشبه -اللالونية، والأنواع اللالونية. كما أنه يدعم أوضاع المراقبة Brightfield وDarkfield وDIC والمستقطبة والفلورية.

هل من الصعب أن تعمل؟ هل أحتاج إلى تجميع الوحدات بنفسي؟

لا، إنه حل جاهز. تم دمج العدسات المريحة والمقبض البعيد وبرامج التشغيل. لا تتطلب العملية برمتها أي تطوير إضافي، وحتى المبتدئين يمكنهم البدء بسرعة.

هل يمكن تشغيلها تلقائيا أو التحكم بها عن بعد؟

يمكن التحكم فيه عن بعد باستخدام المقبض الذي يحتوي على مفاتيح اختصار لتبديل الأهداف وضبط الإضاءة. ويمكن أيضًا تجهيزها بمرحلة XYZ بمحرك، والتركيز التلقائي، ووحدات معالجة الرقاقات، مما يتيح التحميل والتفريغ التلقائي وتتبع التركيز المستمر.

كيف هي دقة النزوح؟ ما مدى جودة عمل التركيز التلقائي؟

تحقق المرحلة الآلية XY دقة أقل من أو تساوي 2μm، ودقة الضبط الدقيق للمحور Z-أقل من أو تساوي 1μm. يستخدم التركيز التلقائي مصدر ضوء 660 نانومتر/780 نانومتر/808 نانومتر، وكاميرا ذات معدل -إطار-عالي، وخوارزميات، مما يتيح التركيز السريع والتتبع المستمر. كما أنه يدعم ترقيات مجاهر سلسلة Zeiss Axiscope.

ما هي المواد التي يمكن استخدام وسم العيوب بالليزر عليها؟

يتوفر نوعان من الليزر، 450 نانومتر و532 نانومتر. يمكن استخدام مواد مثل الكروم، والألومنيوم، وITO، والنحاس، وراتنج السيليكون لوضع علامات على مستوى أقل من - ميكرون وإصلاحه.