نظرة عامة على المنتج
تم تصميم Batch Wafer Cleaner-بما في ذلك نماذج 12-بوصة و8-نماذج BC-لدقة في تصنيع أشباه الموصلات ومعالجة رقائق السيليكون، وتخصص في النقش الرطب والتنظيف. ما الذي يميزها؟ مرونة التنسيق التي تناسب كلاً من الرقاقات مقاس 12-بوصة و8-بوصة، بالإضافة إلى خيارات المعالجة القابلة للتكوين (بدون علبة كاسيت أو نوع علبة الكاسيت) لتناسب أي إعداد إنتاج تقريبًا - بدءًا من المصانع كبيرة الحجم مقاس 300 مم وحتى الخطوط القديمة مقاس 200 مم.
تحت الغطاء، فهو مليء بالميزات المهمة للحصول على نتائج متسقة: إدارة المواد الكيميائية المتقدمة (مع دعم CCSS/LCSS)، والتحكم الآلي في العملية للجرعات، ودرجة الحرارة، ومعدل التدفق، واتصالات SECS/GEM القياسية الصناعية-. ولكننا لم نتوقف عند الأداء-كانت السلامة والكفاءة من أهم الأولويات أيضًا. ستحصل على-ميزة مدمجة لاكتشاف التسرب والحماية من الحرارة الزائدة لراحة البال، بالإضافة إلى إمكانات استعادة المواد الكيميائية وتصنيف النفايات للحفاظ على سير العمليات بسلاسة. سواء كنت تقوم بالحفر أو التنظيف أو الشطف، فإن هذا النظام يقدم نتائج متكررة يمكنك الاعتماد عليها-دون التخمين.
المزايا
مرونة التنسيق والتعامل
- موديل 12 بوصة:تصميم أقل-من الكاسيت (يقلل من مخاطر التلوث بالنسبة للرقائق عالية النقاء-300 مم).
- موديل 8 بوصة:التعامل مع نوع الكاسيت/الكاسيت المزدوج- + التوافق مع SMIF POD/FOUP (يتكيف مع سير العمل القديم/الحديث مقاس 200 مم).
التحكم الدقيق في العمليات
- الميزات الموحدة:الجرعات التلقائية، والتسييل والتغذية، والتنظيم في الوقت الفعلي- لدرجة الحرارة والتركيز ومعدل التدفق والضغط (يضمن تجانس الدفعة-إلى-الدفعة).
- التجفيف المتقدم:تجفيف Marangoni/LPD (يمنع ظهور بقع/بقايا الماء على أسطح الرقاقة الحساسة).
التكلفة والكفاءة التشغيلية
استخلاص المواد الكيميائية الحصري من BC3100 (يقلل من استهلاك المواد الكيميائية والنفايات).
مجموعة الحماية من الحرارة الزائدة + أجهزة استشعار التسرب (تقلل من وقت التوقف عن العمل وفقدان المواد).
تكامل المصنع والامتثال
دعم كامل لبروتوكول SECS/GEM (يتيح اتصال MES لسير عمل القوات المسلحة البوروندية الذكية).
- موديل 8 بوصة:تصريف منفصل (يبسط تصنيف النفايات الخطرة والامتثال التنظيمي).
التطبيقات
عمليات تصنيع IC
- تنظيف RCA
- شريط مبلل للعلاقات العامة
- طبقة عازلة للحفر الرطب
- طبقة معدنية محفورة بطريقة رطبة
معالجة رقاقة السيليكون
- النقش القلوي
- نشر-تنظيف تلميع
- التنظيف المسبق-
- الشطف النهائي
النموذج-حالات الاستخدام المحددة
- 12-موديل البوصة: مصنوع خصيصًا لإنتاج كميات كبيرة-بحجم 300 مم. فكر في المنطق الكبير وتصنيع شرائح الذاكرة التي تعمل بأقصى سرعة.
- 8-طراز البوصة: مثالي لخطوط الويفر مقاس 200 مم. رائعة لأشباه موصلات السيارات والإلكترونيات الدقيقة القديمة-التي تعمل على تشغيل الأنظمة الأساسية.
حدود
|
المعلمة |
موديل 12 بوصة |
موديل بي سي 8 بوصة |
|
حجم الرقاقة |
12 بوصة (300 ملم) |
8 بوصة (200 ملم) |
|
نوع الأداة |
كاسيت-أقل |
نوع كاسيت أو كاسيت |
|
سعة الرقاقة / الملعب |
N/A |
50 رقاقة (25 رقاقة/علبة ×2)/ درجة 10 مم |
|
الناقلات المدعومة |
N/A |
سميف بود/فوب |
|
دعم الإمدادات الكيميائية |
سي سي إس إس، إل سي إس إس |
سي سي إس إس، إل سي إس إس |
|
تكنولوجيا التجفيف |
مارانجوني جاف أو LPD |
مارانجوني جاف، LPD جاف |
|
الإدارة الكيميائية |
الجرعات التلقائية، النزيف والتغذية؛ |
الجرعات التلقائية، النزيف والتغذية؛ |
|
ميزات السلامة |
حماية من ارتفاع درجة حرارة الحمام؛ أجهزة استشعار التسرب (مستوى الوحدة-) |
حماية من ارتفاع درجة حرارة الحمام؛ كشف التسرب متفرق |
|
استعادة الكيميائية |
المدعومة |
غير محدد |
|
بروتوكول الاتصالات |
دعم SECS/GEM الكامل |
دعم SECS/GEM الكامل |
|
انتقال كاسيت |
غير محدد |
المدعومة |
التعليمات
س: ما هي أحجام الرقاقات التي تدعمها سلسلة BC؟
ج: يتعامل الطراز BC3100 مع الرقاقات مقاس 12 بوصة (300 مم)؛ يدعم طراز BC مقاس 8 بوصات رقائق مقاس 8 بوصات (200 مم).
س: هل يمكن لسلسلة BC العمل مع أشرطة الكاسيت؟
ج: يستخدم BC3100 تصميمًا أقل-من أشرطة الكاسيت؛ يدعم الطراز مقاس 8-بوصة التعامل مع الكاسيت وبدون الكاسيت.
س: ما هي العمليات الرئيسية التي تقوم بها؟
ج: يتعامل مع تنظيف RCA، وشريط PR، والحفر العازل/المعدني، والتنظيف اللاحق-لأشباه الموصلات/الرقائق.
س: هل يدعم تكامل المصنع؟
ج: نعم-يدعم كلا الطرازين بروتوكول الاتصال SECS/GEM بشكل كامل لاتصال MES.
س: ما هي ميزات السلامة الموجودة به؟
ج: تشمل الميزات القياسية الحماية من ارتفاع درجة حرارة الحمام والكشف عن التسرب؛ يضيف الطراز مقاس 8 بوصات تصريفًا منفصلاً للنفايات.
الوسم : منظف بسكويت الرقاقة دفعة واحدة، الشركات المصنعة لمنظف بسكويت الرقاقة الدفعي في الصين، الموردين

