نظرة عامة على المنتج
تم تصميم منظف الرقاقات الفردي هذا خصيصًا لأعمال الرقاقات شبه الموصلة-التي تغطي كل شيء بدءًا من تنسيقات 8 بوصة إلى 12 بوصة، بدون استثناءات. يأتي كل نموذج مزودًا بعناصر تحكم دقيقة في العملية (مثل التسخين والتركيز ومعدل التدفق) واتصالات SECS/GEM، لذا فإن دمجها في المصانع الذكية أمر سهل للغاية. والأفضل من ذلك، أنه قابل للتكوين بالكامل ليتوافق مع كل ما يحتاجه تطبيقك.
إليك كيفية تقسيم السلسلة:
اس دبليو سي 100 :
تم تصميمها مع وضع الرقائق مقاس 12-بوصة في الاعتبار. يحتوي على 8 غرف ويعمل مع 4 FOUPs، للتعامل مع جميع العمليات الرطبة القياسية التي تحتاجها يوميًا-.
اس دبليو سي 200:
خيار آخر مركّز مقاس 12 بوصة، ولكن مع تعزيز 12 غرفة بدلاً من 8، بالإضافة إلى توافق 4 FOUP. العمليات الأساسية؟ تمامًا مثل SC3100، لذلك لا يوجد منحنى تعليمي جديد.
سيك بلس:
المرنة من المجموعة. إنه يعمل مع الرقاقات مقاس 8- بوصة و12 بوصة على حد سواء، ويمكنك تخصيص عدد الغرف من 2 إلى 8. وهو مثالي لأجهزة الطاقة وإعدادات العمليات القائمة على السيليكون.
المزايا
◆ مرونة التنسيق والتكوين
SWC100 / SWC 200: دعم ثابت مقاس 12-بوصة (8/12 غرفة) للإنتاج القياسي بكميات كبيرة.
SEC Plus: توافق مقاس 8–12-بوصة + غرف قابلة للتخصيص، تتكيف مع سير عمل الأجهزة ذات التنسيق المختلط/أجهزة الطاقة.
◆ التحكم الدقيق في العمليات
جميع الموديلات: التحكم في التسخين/التركيز/التدفق/الضغط، بالإضافة إلى كيمياء اختيارية (DHF، SC1، إلخ.) وفوهات 3ea للمعالجة الموحدة.
SEC Plus: إضافة فصل للعادم الحمضي/القاعدي/العضوي + استخلاص المواد الكيميائية، مما يعزز السلامة وفعالية التكلفة.
◆ توافق واسع
SWC100 / SWC 200: دعم الناقل 4FOUP لتكامل القوات المسلحة البوروندية مقاس 12 بوصة.
SEC Plus: 2–4 التوافق مع أشرطة الكاسيت المفتوحة/SMIF/FOUP، وخطوط الإنتاج القديمة والحديثة الملائمة.
التطبيقات
SWC100 / SWC 200 (رقائق 12 بوصة)
العمليات الأساسية: تنظيف RCA، تنظيف البوابة، حفر/تجريد الأكسيد، إزالة مقاوم الضوء.
استخدامات محددة: إزالة التلوث بالجسيمات/المعادن/العضوية، والتنظيف -قبلي/بعدي، وتنظيف التوصيل البيني Al/Cu (لرقائق المنطق/الذاكرة).
SEC Plus (رقائق بحجم 8-12 بوصة)
الأجهزة المستهدفة: أجهزة الطاقة من كربيد السيليكون/السيليكون، وأجهزة المعالجة المعتمدة على السيليكون.
عمليات محددة: ترقق/تنظيف الجانب الخلفي، وتنظيف الرقاقات الرقيقة، والنقش بـ H3PO4 بدرجة حرارة عالية، بالإضافة إلى إزالة التلوث القياسية وتنظيف التوصيل البيني.
حدود
|
مواصفة |
SWC100 |
اس دبليو سي 200 |
سيك بلس |
|
حجم الرقاقة |
12 بوصة |
12 بوصة |
8-12 بوصة |
|
تشامبرز |
8 غرف |
12 غرفة |
2-8 غرف (قابلة للتخصيص) |
|
توافق الناقل |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 فتح الكاسيت/SMIF/FOUP |
|
الكيمياء المدعومة |
دف، SC1، SC2، DIO3، DICO2، IPA، N2 |
دف، SC1، SC2، DIO3، DICO2، IPA، N2 |
Etchant,SC1+ميغاسونيك,DHF,DICO2,N2 |
|
ميزات التحكم في العمليات |
التدفئة/التركيز/التدفق/التحكم في الضغط |
التدفئة/التركيز/التدفق/التحكم في الضغط |
التدفئة/التركيز/التدفق/التحكم في الضغط |
|
دعم الإمدادات الكيميائية |
N/A |
N/A |
سي سي إس إس، إل سي إس إس |
|
إدارة العادم |
N/A |
N/A |
عادم منفصل (حمض / قاعدة / مواد عضوية) |
|
ميزات إضافية |
N/A |
N/A |
استعادة المواد الكيميائية. حماية من ارتفاع درجة حرارة الحمام تسرب |
|
بروتوكول الاتصالات |
SECS/جوهرة |
SECS/جوهرة |
SECS/جوهرة |
التعليمات
ما هي أحجام الرقاقات التي تدعمها هذه النماذج؟
يدعم SWC100 / SWC 200 الرقائق مقاس 12 بوصة فقط؛ يتميز SEC Plus بالمرونة بالنسبة للرقائق مقاس 8-12 بوصة.
ما الفرق بين SWC100 وSWC200؟
وهي تشترك في نفس إمكانات المعالجة مقاس 12-بوصة - يحتوي SC3100 على 8 غرف، بينما يتسع SWC 200 إلى 12 غرفة لتحقيق إنتاجية أعلى.
ما هو النموذج المناسب لمعالجة أجهزة الطاقة؟
تم تحسين SEC Plus لأجهزة الطاقة من كربيد السيليكون/السيليكون (يدعم ترقق الجانب الخلفي والحفر بدرجة حرارة عالية -H3PO4).
هل يمكن لهذه الأنظمة الاتصال بشبكة MES الخاصة بشركتنا؟
نعم-تدعم جميع الطرز بروتوكول الاتصال SECS/GEM بشكل كامل للتكامل في المصنع.
هل تدعم سلسلة SE ميزات توفير التكاليف الكيميائية-؟
نعم، فهي تتضمن وظيفة استخلاص المواد الكيميائية (إعادة تدوير المواد الكيميائية المعالجة) وتصريف النفايات المصنفة.
ما هي شركات النقل التي تعمل معها هذه الأنظمة؟
SWC100 / SWC 200 يستخدم 4FOUP؛ يدعم SEC Plus 2-4 كاسيت مفتوح/SMIF/FOUP (يتكيف مع الخطوط القديمة/الحديثة).
الوسم : منظف الرقاقة المفردة، مصنعي وموردي منظف الرقاقة المفردة في الصين
