تغطية سطح الركيزة مثل رقاقة السيليكون بمقاوم ضوئي شديد الحساسية، ثم تشعيع سطح الركيزة بضوء محدد (عادة ضوء فوق بنفسجي، ضوء فوق بنفسجي عميق، ضوء فوق بنفسجي شديد) من خلال قناع يحتوي على معلومات نمط الهدف، سوف يتفاعل مقاوم الضوء المشعع بالضوء. لذلك، فإن المنطقة التي يتم تشعيعها بعد التطوير ستنتج تأثيرات مختلفة عن المنطقة التي لم يتم تشعيعها (اعتمادًا على خصائص مقاوم الضوء).
