نظرة عامة على المنتج

نظام IBD -Tech' 8- بوصة لطيف مخصص لترسيب الأغشية-درجة الحرارة المنخفضة، والكثافة العالية-، والكثافة العالية-الموحدة-على رقائق 8- بوصة. ويستخدم تقنية الرش مع إعداد مصدر-أيون-ثنائي (الرش + مصدر مساعد): يقوم المصدر الرئيسي بتوليد جزيئات الترسيب، بينما يتيح المصدر المساعد التنظيف المسبق في الموقع وتكثيف الفيلم.

مزود بأسطوانة هدف دوارة ذات 4- فتحات (تدعم ما يصل إلى 4 مواد مستهدفة) ونظام تحكم بصري في الوقت الفعلي -(يراقب/يضبط أطياف الفيلم)، فهو يدمج بشكل اختياري النقش بالحزمة الأيونية (IBE) من أجل "الحفر بالترسيب" في حجرة واحدة. متوافق مع معايير أشباه الموصلات، فهو يناسب الإنتاج الضخم مقاس 8 بوصات والبحث والتطوير.

المزايا

أفلام ذات -درجة حرارة منخفضة، وعالية-كثافة

ينشئ أفلامًا كثيفة-عالية الجودة عند درجات حرارة منخفضة وضغطًا-منخفضًا للغاية. يؤدي هذا إلى تجنب تلف الرقاقة بشكل كامل ويعزز بشكل مباشر متانة الجهاز على المدى الطويل-.

متعدد-تعدد استخدامات المواد

نظرًا لأنه مزود بأسطوانة مستهدفة ذات 4-فتحات، فإنه يدعم كلاً من الأفلام الفردية والمركبة-التي تغطي المعادن والسبائك والأكاسيد وغير ذلك الكثير - دون الحاجة إلى تبديل الأهداف بشكل متكرر.

التحكم الدقيق المتكامل

اختر IBE للحصول على "التنظيف المسبق ← الترسيب ← النقش" في غرفة واحدة. تضمن المراقبة في الوقت الفعلي- أداءً متسقًا للفيلم عبر كل دفعة.

توافق واسع

مخصصة لرقائق 8 بوصة. يستخدم المكونات القياسية، مما يجعل الصيانة سهلة والتكامل مع خطوط الإنتاج الحالية سلسًا.

التطبيقات

01/

مكونات القرص الصلب:يودع الأفلام الرئيسية (على سبيل المثال، طبقات التحيز المغناطيسي الصلبة) لرؤوس قراءة الأقراص الصلبة (TMR/AMR)، مما يضمن الاستقرار المغناطيسي.

02/

الأجهزة البصرية:يقوم بإعداد Bragg Stacks والأفلام البصرية الأخرى لأشعة الليزر وأجهزة الكشف الضوئي وأجهزة الاستشعار البصرية.

03/

مجسات الدقة:يودع الأفلام الوظيفية (المغناطيسية والموصلة) لأجهزة الاستشعار الكهروميكانيكية الدقيقة/أجهزة الاستشعار المغناطيسية، مما يعزز الحساسية.

04/

R&D:يدعم تطوير الأفلام الجديدة (المركبات ثنائية الأبعاد، والأفلام الكهرضغطية) في الجامعات ومعاهد البحوث.

حدود

فئة	نظام IBD 8 بوصة
توافق الرقاقة	8-بوصة (أساسي)؛ قابلة للتكيف مع ركائز جزئية ذات حجم خاص من خلال تعديل العملية
تكوين مصدر ايون	مصدر -أيون- مزدوج (مصدر أيون متناثر + مصدر أيون مساعد)؛ وظيفة IBE (النقش بالشعاع الأيوني) الاختيارية
سعة الأسطوانة المستهدفة	أسطوانة الهدف الدوارة ذات 4 فتحات (تدعم ما يصل إلى 4 مواد مستهدفة مختلفة)
درجة حرارة الترسيب	عملية ذات درجة حرارة منخفضة- (تتجنب التلف الحراري للرقاقة والأجهزة الحساسة)
ضغط العملية	بيئة ذات ضغط منخفض للغاية- (تساهم في ترسيب الأفلام ذات الكثافة العالية-)
نظام التحكم بالفيلم	نظام التحكم البصري في الوقت الفعلي-(يقوم بمراقبة وتحليل وضبط نطاق الفيلم في الوقت الفعلي)
المواد القابلة للإيداع	المعادن والسبائك والأكاسيد والقابلة للتخصيص للأفلام الوظيفية الجديدة (على سبيل المثال، المركبات ثنائية الأبعاد والأفلام الكهرضغطية)
تكامل العمليات	عملية متكاملة "التنظيف المسبق-الترسيب-النقش" (اختياري، نفس الغرفة)
امتثال الصناعة	متوافقة مع معايير معالجة صناعة أشباه الموصلات
المكونات الرئيسية	قطع الغيار القياسية الدولية (تكلفة صيانة منخفضة، واستبدال قطع الغيار المريحة)