نظرة عامة على المنتج
تعتبر معدات RTP شبه الأوتوماتيكية هذه عملية للغاية، فهي قادرة على معالجة الرقائق التي يتراوح حجمها من 8 إلى 12 بوصة. توفر معدات RTP شبه الأوتوماتيكية - تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة ومحتوى منخفض جدًا من الأكسجين، مما يجعلها مثالية للتطبيقات التي تتطلب درجة نقاء عالية للعملية. علاوة على ذلك، فهو يتميز-بميزاته الغنية، حيث يدعم كلاً من أساليب المعالجة الجوية والفراغية، ويتضمن ميزات أمان ثلاثية. إنه مثالي لعمليات مثل تحسين ITO وتليين سبائك مبيدات السيليكات في الإنتاج متوسط الحجم-.
المزايا
القدرة على التكيف على نطاق واسع:
يتعامل مع الرقاقات مقاس 8-12 بوصة، مما يلبي احتياجات إنتاج الدُفعات بأحجام مختلفة. تتكيف تكوينات المصابيح المرنة وSCR مع سيناريوهات العمليات المتنوعة.
الأتمتة تعزز الكفاءة:
في حين أن التحميل والتفريغ اليدوي للرقاقة لا يزال مطلوبًا، فإن باب الغرفة يفتح ويغلق تلقائيًا بعد بدء العملية، مما يقلل من التدخل اليدوي ويحسن الكفاءة التشغيلية واتساق العملية.
الجو الدقيق:
محتوى الأكسجين<1ppm, combined with 6-channel MFC, enables precise control of the reaction atmosphere, suitable for impurity-sensitive annealing processes.
آمنة وموثوقة:
مجهزة بميزات أمان ثلاثية، بالإضافة إلى التحكم التلقائي في باب الغرفة، مما يقلل من مخاطر التشغيل والعمليات ويضمن التشغيل المستقر للمعدات.
حدود
|
نموذج |
RTP-SA-8 |
RTP-SA-12 |
|
حجم الرقاقة |
8 بوصة وما دون |
12 بوصة وما دون |
|
مقاس |
970 مم × 1550 مم × 2160 مم (العرض × العمق × الارتفاع) |
1050 مم × 1740 مم × 2240 مم (W×D×H) |
|
نطاق درجة الحرارة |
RT~800 درجة (يتم التحكم فيها بواسطة الحرارية) 500 درجة ~ 1250 درجة (يتم التحكم فيها بواسطة البيرومتر) |
RT~800 درجة (يتم التحكم فيها بواسطة الحرارية) 500 درجة ~ 1250 درجة (يتم التحكم فيها بواسطة البيرومتر) |
|
أقصى معدل للتدفئة |
150 درجة / ثانية --- رقاقة فقط 20 درجة / ثانية --- حامل SiC 30 درجة / ثانية --- طلاء حامل الجرافيت SiC |
150 درجة / ثانية --- رقاقة فقط 20 درجة / ثانية --- حامل SiC 30 درجة / ثانية --- طلاء حامل الجرافيت SiC |
|
توحيد درجة الحرارة |
أقل من أو يساوي ±3 درجة @ أقل من أو يساوي 600 درجة أقل من أو يساوي ±0.5% عند >600 درجة |
أقل من أو يساوي ±3 درجة @ أقل من أو يساوي 600 درجة أقل من أو يساوي ±0.5% عند >600 درجة |
|
تكرار درجة الحرارة |
±1 درجة |
±1 درجة |
|
عدد المصابيح/SCRs |
33 قطعة / 10 مجموعة |
41 قطعة / 16 مجموعة 55 قطعة / 24 مجموعة |
|
ماكس إم إف سي |
6 |
6 |
|
أدنى ضغط |
30mTorr |
30mTorr |
|
معدل التسرب |
10 متور/دقيقة |
10 متور/دقيقة |
|
O2نسبة مئوية |
<1 جزء في المليون |
<1 جزء في المليون |
|
ماكس / متوسط الطاقة |
90/ 50 كيلو واط |
100/ 60 كيلو واط |
|
الجهد االكهربى |
380 فولت / 60 هرتز / 3 المرحلة 5 أسلاك |
380 فولت / 60 هرتز / 3 المرحلة 5 أسلاك |
|
طريقة التحكم |
التحكم بالكمبيوتر |
التحكم بالكمبيوتر |
التعليمات
1. باب الغرفة لا يفتح / يغلق تلقائيا؟
تحقق مما إذا كانت العملية قد بدأت بشكل طبيعي. أعد تشغيل الجهاز وحاول مرة أخرى. إذا استمرت المشكلة، فافحص أسلاك مستشعر باب الغرفة.
2. محتوى الأكسجين يتجاوز 1 جزء في المليون؟
استبدله بغاز خامل-عالي النقاء. التحقق من وجود تسرب في خط أنابيب الغاز. إصلاح وإعادة اختبار مستويات الأكسجين.
3. تسخين غير متساوٍ للرقاقة؟
تأكد من صحة حجم الرقاقة (8/12 بوصة). تنظيف غرفة الكوارتز. إذا استمرت المشكلة، فاتصل بمهندس لضبط طاقة المصباح.
4. زلات الرقاقة بسهولة أثناء التحميل / التفريغ اليدوي؟
تنظيف سطح الناقل. ادفع الرقاقة بلطف إلى المركز أثناء التحميل/التفريغ. ارتدِ قفازات غير قابلة للانزلاق وخالية من الغبار-.
5. كيف تتوقف في حالة الطوارئ؟
اضغط على "إيقاف الطوارئ EMO" لقطع مصدر الحرارة. بعد حل المشكلة، اضغط على زر "إعادة الضبط" لإعادة التشغيل.
شهادة
◆ شهادة الامتثال SEMI S2
الوسم : معدات rtp شبه الأوتوماتيكية، الصين-مصنعي وموردي معدات rtp شبه الأوتوماتيكية
