نظرة عامة على المنتج
تركز الأفران الحرارية الأنبوبية الرأسية والأفقية التابعة لشركتنا على-التحكم في درجة الحرارة بدقة عالية-وتتعامل مع جميع المعالجات الحرارية الرئيسية لأشباه الموصلات، مثل الأكسدة والانتشار والتليين-سواء كان ذلك للإنتاج الضخم أو البحث والتطوير المعملي. تتلخص الاختلافات الحقيقية بينهما في البنية ومدى ملاءمتها لاستخدامات محددة:
الفرن الحراري الأنبوبي العمودي
يوفر فرن الأنبوب العمودي المساحة، ويناسب رقائق بحجم أقل من أو يساوي 8 بوصة (يتوفر خيار صناعي مقاس 12 بوصة). المواصفات الرئيسية: منطقة درجة حرارة ثابتة بحد أقصى 850 مم، دقة تحكم ± 0.5 درجة.
النموذج الصناعي: يعزز الإنتاج الضخم لـ IC/IGBT من خلال معالجة الدفعات بدون توقف. نموذج البحث: يلبي احتياجات درجة الحرارة المنخفضة لوسط شريحة SiC/الكمية-للتحقق من الدفعات الصغيرة-.
الفرن الحراري الأنبوبي الأفقي
تصميم فرن الأنبوب الأفقي، تكوين مرن من 1 إلى 4 أنابيب؛ منطقة درجة حرارة ثابتة قابلة للتخصيص 300-1000 مم، نطاق 400 درجة -1200 درجة.
النموذج الصناعي: تكامل العمليات-المتعددة لتطعيم الرقاقات/التشكيل الهيكلي. نموذج البحث: يمزج بين التدريس والتطوير، وهو مثالي للتجارب الجامعية-الصغيرة.
يستخدم كلاهما غرفًا نظيفة وتحكمًا مستقرًا في درجة الحرارة، مما يغطي الاحتياجات الحرارية لأشباه الموصلات بدءًا من البحث والتطوير وحتى الإنتاج الضخم.
التطبيقات
- بالنسبة للجامعات/مؤسسات البحث: يدعم -الدفعة الصغيرة من البحث والتطوير لـ SiC، والرقائق الكمومية، وما إلى ذلك، مما يساعد في التحقق من عملية المواد الجديدة واختبار الأداء.
- معالجة النانو- الدقيقة: تتعامل مع الانتشار، والأكسدة، والتليين، ويعمل LPCVD- كنظام أساسي مرن لأبحاث الأجهزة الإلكترونية الضوئية/الفوتونية.
- البحث والتطوير في الأجهزة البصرية: يناسب تطوير الدليل الموجي البصري المتكامل/الجهاز الضوئي عالي السرعة-؛ يطابق احتياجات المعالجة الحرارية LiNbO₃ في تبادل البروتونات.
- التدريس الجامعي: يساعد في التدريس التجريبي/تطوير العمليات، ويساعد في إتقان المعدات الحرارية لأشباه الموصلات وربط النظرية بالهندسة.
المزايا
التحكم في درجة الحرارة-عالية الدقة:
دقة ±0.5 درجة؛ حتى عند 1100 درجة، يظل استقرار النقطة الواحدة-±0.5 درجة لمدة 24 ساعة، مما يضمن تكرارًا موثوقًا للبيانات.
توافق العمليات المتعددة-:
تدعم الأفران العمودية الانتشار/الأكسدة؛ تضيف تلك الأفقية التلدين و LPCVD. كلاهما مناسب للبحث والتطوير في رقاقة SiC/الكمية.
ابحث عن-قابلية التكيف الملائمة:
تعمل مع رقائق بحجم أقل من أو تساوي 8-بوصة (1-4 أنابيب اختيارية). تصميم دفعة صغيرة أحادية الأنبوب يخفض التكاليف؛ يدعم التشغيل المستمر الطويل للتجارب.
حدود
|
غرض |
فرن الأنبوب العمودي |
فرن الأنبوب الأفقي |
|
نطاق درجة الحرارة |
200 درجة -600 درجة، 600 درجة -1200 درجة (نطاقان اختياريان) |
200 درجة -600 درجة، 600 درجة -1200 درجة (نطاقان اختياريان) |
|
دقة التحكم في درجة الحرارة |
أقل من أو يساوي ±0.5 درجة |
أقل من أو يساوي ±0.5 درجة |
|
توحيد درجة الحرارة |
- |
أقل من أو يساوي ±1 درجة |
|
-نقطة واحدة لاستقرار درجة الحرارة |
أقل من أو يساوي ±0.5 درجة عند 1100 درجة لمدة 24 ساعة متتالية |
أقل من أو يساوي ±0.5 درجة عند 1100 درجة لمدة 24 ساعة متتالية |
|
الحد الأقصى لمعدل التدفئة |
10 درجة / دقيقة |
10 درجة / دقيقة |
|
طول منطقة درجة الحرارة الثابتة |
200-500 ملم |
200-500 ملم |
التعليمات
ما هي أحجام الرقاقات التي يتعامل معها الفرن الحراري الأنبوبي؟
يدعم كلا الطرازين الرأسي والأفقي الرقائق التي يصل حجمها إلى 8 بوصات.
ما هي العمليات الأساسية التي يمكنهم القيام بها؟
فرن الأنبوب العمودي: يغطي الانتشار والأكسدة والتليين.
فرن الأنبوب الأفقي: يضيف تكامل LPCVD فوق تلك الأساسيات.
هل يمكن تخصيص عدد أنابيب العملية؟
بالتأكيد-يمكنك اختيار من 1 إلى 4 أنابيب لكل وحدة، بناءً على احتياجاتك.
ما مدى دقة التحكم في درجة الحرارة؟
تبقى دقة التحكم في درجة الحرارة ضمن ±0.5 درجة. حتى عند 1100 درجة، تحافظ نقطة واحدة على الاستقرار في حدود ±0.5 درجة لمدة 24 ساعة متواصلة. بالنسبة للأفران الأفقية، يكون تجانس درجة الحرارة ضمن ±1 درجة أيضًا.
ماذا عن معدل التسخين ونطاق درجة الحرارة؟
أقصى معدل تسخين يصل إلى 10 درجات / دقيقة، مع نطاقين من درجات الحرارة المتاحة: 200-600 درجة و600-1200 درجة.
هل طول منطقة درجة الحرارة الثابتة قابل للتعديل؟
ويتراوح من 200 إلى 500 مم بشكل افتراضي، ويدعم التخصيص.
أيهما أفضل لمختبرات الأبحاث الجامعية؟
انتقل إلى القطاع الرأسي إذا كنت بحاجة إلى العمليات الأساسية-فإنه يوفر المساحة ويكون فعالاً من حيث التكلفة-. اختر الوضع الأفقي إذا كنت بحاجة إلى LPCVD، أو دعم التدريس، أو الربط بين العمل المعملي والإنتاج الضخم.
هل يمكنه إجراء تجارب طويلة؟ هل الصيانة مكلفة؟
وهو يدعم التشغيل طويل الأمد-بدون توقف. الصيانة نادرة، لذلك تبقى التكاليف تحت السيطرة.
هل هو مناسب للإنتاج التجريبي أو -الصغير؟
نعم-يتنقل كلا الطرازين بسلاسة بين البحث والتطوير والإنتاج على دفعات صغيرة-.
الوسم : الفرن الحراري الأنبوبي، مصنعي الفرن الحراري الأنبوبي في الصين، الموردين
