نظرة عامة على المنتج
تم تصميم نظام الرش المغنطروني هذا لترسيب الأغشية الرقيقة المعدنية في تصنيع أشباه الموصلات. يتم استخدامه على نطاق واسع في الدوائر المتكاملة وأجهزة الطاقة والتعبئة المتقدمة. يدعم النظام الرقائق مقاس 6 بوصات و8 بوصات ويوفر نموًا ثابتًا وقابل للتكرار للأغشية الرقيقة لكل من البحث والتطوير والإنتاج الحجمي.
المزايا
1. نمط المجموعة والتصميم المعياري يجعل من السهل التكوين والتوسع لتلبية احتياجات العمليات المختلفة.
2. التعامل الآلي مع الرقاقة مع الوظائف المساعدة الكاملة يحافظ على استقرار التشغيل ويقلل من التدخل اليدوي.
3. يدعم التخطيط المستهدف الفردي للغرفة الواحدة العمليات المتوازية والمتزامنة، مما يحسن الكفاءة الإجمالية.
4. يساعد أداء التفريغ العالي الذي يصل إلى ~6E 6 Pa وتوحيد مقاومة الصفائح أقل من أو يساوي 3% على ضمان جودة الفيلم المتسقة عبر الرقاقات.
التطبيقات
1. الدوائر المتكاملة: تستخدم لترسيب الوصلات المعدنية والأقطاب الكهربائية وطبقات الحواجز في عمليات الواجهة الأمامية والخلفية.
2. أجهزة الطاقة: تدعم تشكيل الأفلام المعدنية للأقطاب الكهربائية، والتعدين، والتخميل في مكونات الجهد العالي والطاقة العالية.
3. التغليف المتقدم: يوفر تعدينًا موثوقًا لطبقات إعادة التوزيع (RDL)، والصدمات، وهياكل ربط التغليف الأخرى.
التعليمات
س: ما هو الغرض الفعلي من استخدام نظام الرش المغنطروني هذا؟
ج: إنها-أداة لترسيب الأغشية الرقيقة-تستخدم أساسًا في وضع الأغشية المعدنية في صناعة أشباه الموصلات. فكر في الدوائر المتكاملة، وأجهزة الطاقة، وعمليات التغليف المتقدمة-، فهذه هي حالات الاستخدام الرئيسية.
س: ما هي أحجام الرقاقة التي يمكن أن تتعامل معها؟
ج: في الوقت الحالي، يعمل هذا مع الرقاقات مقاس 6-بوصة و8 بوصة. مثالي لكل من أعمال البحث والتطوير المعملية وخطوط الإنتاج واسعة النطاق.
س: إلى أي مدى يمكن أن يصل مستوى الفراغ؟
ج: نحن نتحدث عن حوالي 6E-6 Pa لفراغ العملية. وهذا أمر بالغ الأهمية للحصول على أغشية رقيقة متسقة وعالية الجودة.
س: ما مدى اتساق تجانس الفيلم؟
ج: يبلغ تجانس مقاومة الصفائح أقل من أو يساوي 3%-وبالتالي لن ترى اختلافات كبيرة عبر الرقاقات، وهو أمر أساسي للحصول على أداء موثوق للجهاز.
س: ما الذي يجعل هذا النظام متميزًا للاستخدام اليومي؟
ج: إنها الأشياء الصغيرة التي تتراكم: التصميم المعياري لنمط المجموعة- (المرونة الفائقة للإعدادات المخصصة)، ومعالجة الرقائق المؤتمتة بالكامل (تقلل من العمل اليدوي)، والتخطيط المستهدف-الحجرة الفردية-المفردة (يتيح تشغيل العمليات بشكل متوازٍ، مما يعزز الكفاءة).
س: هل هي مناسبة لتطبيقات التعبئة والتغليف المتقدمة؟
ج: بالتأكيد. يتم استخدامه على نطاق واسع للتعدين في عمليات التغليف المتقدمة-مثل RDL (طبقات إعادة التوزيع)، والصدمات، وغيرها من هياكل التوصيل البيني التي تحتاج إلى أفلام معدنية موثوقة.
الوسم : نظام الرش المغنطروني، الشركات المصنعة لنظام الرش المغنطروني في الصين، الموردين
