يتم إدخال هذا المجفف ذو التدفق الصفحي -التلقائي بالكامل في إعدادات التنظيف أو الحفر-المخصصة-والمصممة لتناسب احتياجات عملية أشباه الموصلات لديك. لقد تم تصميمه ليتبع QDR أو تنظيف شرائح -المياه النقية جدًا (DIW)، مع تثبيت سير العمل "التجفيف الداخلي → التجفيف الخارجي" الذي يقلل من احتجاز الرطوبة-.
تم تصنيعه باستخدام المعالجة الكيميائية الإلكتروليتية SUS-304 (EP) لحامل السلة، والقرص الدوار، وغرفة السائل الملامسة، ويتعامل مع أشرطة "الغطاء الكامل" مقاس 6-بوصة/4 بوصة (التي توفرها أنت) ومواد شبه موصلة يبلغ سمكها 300 ميكرومتر وأكثر. يظل معدل التجزئة أقل من 1 من كل 10000 بالنسبة للمنتجات المعيبة المتعلقة بالمشكلات المتعلقة بالجهاز، بالطبع.
الأجزاء الرئيسية: التحكم الذكي PLC لتشغيل موثوق وبديهي؛ محرك متغير التردد بقوة 3 حصان (0-999 دورة في الدقيقة) مع محرك سير لا يحتاج إلى صيانة؛ مغزل النيتروجين - المختوم (تصميم المتاهة) لإبقاء الحجرة معزولة. بالإضافة إلى ذلك، مزيل الأيونات، وتنقية الهواء، والسيليكون المستورد + التسخين الكهربائي-بدون قطرات بعد التجفيف.
بأبعاد 780×1510×1140 مم (ارتفاع الباب 1820 مم) و450 كجم تقريبًا، فهي تحتوي على 4-تخطيط متماثل للمحطات. يتم تشغيل الباب المصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ على شكل أسطوانة (فتحة خلفية بزاوية 90 درجة) ومزودة بختم مطاطي من الفلور. تجعل واجهات العادم (قطر 110 مم) والصرف (DN32 PVC) التكامل أمرًا سهلاً.
بالنسبة لمصنعي أشباه الموصلات، فهو اختيار قوي-مستقر (أقل من أو يساوي 90 ميكرومتر من الاهتزاز عند 350 دورة في الدقيقة)، ودقيق، ومصمم لتقليل الفاقد مع الحفاظ على سير العمل في المسار الصحيح. بدون زخرفة، فقط أداء موثوق به لخط الإنتاج الخاص بك.
